為落實《國家中長期科學和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020年）》《國家創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略綱要》和《中國制造2025》等規(guī)劃，國家重點研發(fā)計劃啟動實施“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點專項。根據(jù)本重點專項實施方案的部署，現(xiàn)發(fā)布2018年度項目申報指南。
       本重點專項總體目標是：以高速精密重載智能軸承、高端液壓與密封件、高性能齒輪傳動及系統(tǒng)、先進傳感器、高端儀器儀表以及先進鑄造、清潔熱處理、表面工程、清潔切削等基礎(chǔ)工藝為重點，著力開展基礎(chǔ)前沿技術(shù)研究，突破一批行業(yè)共性關(guān)鍵技術(shù)，提升基礎(chǔ)保障能力。加強基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫、工業(yè)性驗證平臺、核心技術(shù)標準研究，為提升關(guān)鍵部件和基礎(chǔ)工藝的技術(shù)水平奠定堅實基礎(chǔ)。
       通過本專項的實施，進一步夯實制造技術(shù)基礎(chǔ)，掌握關(guān)鍵基礎(chǔ)件、基礎(chǔ)制造工藝、先進傳感器和高端儀器儀表的核心技術(shù)，提高基礎(chǔ)制造技術(shù)和關(guān)鍵部件行業(yè)的自主創(chuàng)新能力；大幅度提高交通、航空航天、數(shù)控機床、大型工程機械、農(nóng)業(yè)機械、重型礦山設(shè)備、新能源裝備等重點領(lǐng)域和重大成套裝備自主配套能力，強有力地支撐制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級。
       本重點專項按照產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈的要求，從基礎(chǔ)前沿技術(shù)、共性關(guān)鍵技術(shù)、應用示范三個層面，圍繞關(guān)鍵基礎(chǔ)件、基礎(chǔ)制造工藝、先進傳感器、高端儀器儀表和基礎(chǔ)保障技術(shù)五個方向部署實施。專項實施周期為5年（2018-2022年）。
       2018年，在五個方向按照基礎(chǔ)前沿技術(shù)類、共性關(guān)鍵技術(shù)類和應用示范類，擬啟動不少于43個項目，擬安排國撥經(jīng)費總概算約6億元。為充分調(diào)動社會資源投入制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件的技術(shù)創(chuàng)新，在配套經(jīng)費方面，共性關(guān)鍵技術(shù)類項目，配套經(jīng)費與國撥經(jīng)費比例不低于1:1；應用示范類項目，配套經(jīng)費與國撥經(jīng)費比例不低于2:1。鼓勵產(chǎn)學研團隊聯(lián)合申報，由企業(yè)牽頭申報的項目已在考核指標后明確。
       項目申報統(tǒng)一按指南二級標題（如1.1）的研究方向進行。除特殊說明外，擬支持項目數(shù)均為1~2項。項目實施周期不超過3年。申報項目的研究內(nèi)容須涵蓋該二級標題下指南所列的全部考核指標。項目下設(shè)課題數(shù)不超過5個，每個課題參研單位不超過5個。項目設(shè)1名項目負責人，項目中每個課題設(shè)1名課題負責人。指南中“每個項目擬支持數(shù)為1~2項”是指：在同一研究方向下，當出現(xiàn)申報項目評審結(jié)果前兩位評價相近、技術(shù)路線明顯不同的情況時，可同時支持這2個項目。2個項目將采取分兩個階段支持的方式。第一階段完成后將對2個項目執(zhí)行情況進行評估，根據(jù)評估結(jié)果確定后續(xù)支持方式。

       1.關(guān)鍵基礎(chǔ)件
       1.1高速精密懸浮軸承（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究過臨界磁懸浮轉(zhuǎn)子動力學行為及控制理論；研究磁懸浮軸承測控模塊的優(yōu)化設(shè)計方法及保護軸承的失效與壽命演變機理；研究磁懸浮軸承與支承部件的耦合作用機理及設(shè)計方法；研究新型氣體動壓軸承設(shè)計方法及其支承轉(zhuǎn)子動力學特性，研究高承載、大阻尼新型軸承結(jié)構(gòu)；研究新型氣體動壓軸承關(guān)鍵制造技術(shù)及性能測試技術(shù)。
       考核指標：高速電主軸驗證用磁懸浮柔性轉(zhuǎn)子原理樣機1套，跨臨界工作轉(zhuǎn)速≥6×104r/min，回轉(zhuǎn)精度優(yōu)于0.003mm；無油潤滑保護軸承在立式轉(zhuǎn)子質(zhì)量＞1000kg，跌落轉(zhuǎn)速≥3000rpm條件下，無轉(zhuǎn)子損傷抗跌落次數(shù)≥10次；能源動力裝備用氣體動壓軸承原理樣機1套，徑向承載能力≥0.6MPa，軸向承載能力≥0.4MPa，DN值≥4.5×106mm·r/min，最高工作溫度≥650℃。
       1.2軸承服役性能演變機理與數(shù)字化設(shè)計方法（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究高速精密軸承服役性能演變規(guī)律與軸承動靜剛度特性、熱特性、精度特性設(shè)計理論與方法；研究軸承在變載、變速、非正常潤滑、乏信息等復雜工況下早期失效機理與軸承服役壽命預測方法；開發(fā)包含軸承性能試驗數(shù)據(jù)資源的工程數(shù)據(jù)庫?？己酥笜耍洪_發(fā)具備軸承數(shù)字化結(jié)構(gòu)設(shè)計、軸系仿真、壽命預測功能的設(shè)計工具，設(shè)計結(jié)果與試驗偏差≤20%；工程數(shù)據(jù)庫涵蓋3類以上精密軸承系列產(chǎn)品試驗數(shù)據(jù)；完成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的軸承設(shè)計團體標準或行業(yè)標準3~5項。
       1.3軸承超精密制造及檢測技術(shù)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究工藝參數(shù)對磨削精度與表面質(zhì)量影響機理，研究批量生產(chǎn)條件下軸承套圈、滾子精密磨削工藝；研究拋光過程中磨粒與滾道表面的滾軋與微量刻劃耦合作用機制，研究批量生產(chǎn)條件下滾道曲面高表面質(zhì)量拋光技術(shù)；研究針對軸承幾何精度及能耗測試的快速精密測量技術(shù)及裝置。
       考核指標：批產(chǎn)圓錐滾子精度不低于國標Ⅰ級；軸承部件曲面表面粗糙度Ra≤0.1μm；大型軸承圓柱度測量儀樣機1套，最大測量直徑≥2000mm，回轉(zhuǎn)精度±0.05μm，導軌精度0.2μm/100mm；軸承能耗系數(shù)檢測儀測量樣機1套，能耗系數(shù)檢測精度≤1%。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       1.4精密機床主軸軸承示范應用及工業(yè)試驗平臺（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究精密機床主軸軸承高精度保持性設(shè)計技術(shù)；研究P2級精密主軸軸承批產(chǎn)制造及精密裝配技術(shù)；研究機床主軸軸承運行維護技術(shù)；研究精密機床主軸軸承試驗數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析及性能評價技術(shù)，開發(fā)相關(guān)試驗裝備；建立主軸軸承系列產(chǎn)品工業(yè)性驗證平臺，相關(guān)研究成果在高速精密機床上實現(xiàn)應用?？己酥笜耍壕軝C床主軸軸承精度達到P2級，工作壽命≥6×103h；試驗dmn值≥3.5×106mm·r/min，在10家以上機床企業(yè)批產(chǎn)示范應用；精密機床主軸軸承工業(yè)性驗證平臺滿足8～240mm內(nèi)徑軸承測試要求，可實現(xiàn)壽命、剛度、密封、抗沖擊等性能試驗驗證；研究制定精密機床主軸軸承試驗技術(shù)規(guī)范。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       1.5高速精密軸承新型潤滑技術(shù)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究潤滑介質(zhì)潤滑性能、噪音特性等與微觀結(jié)構(gòu)間的構(gòu)性關(guān)系，研發(fā)適應于極端工況的低噪音長壽命軸承潤滑介質(zhì)；研究高速軸承多場耦合摩擦潤滑機理，開發(fā)軸承潤滑分析/設(shè)計方法與工具軟件；研究低噪聲、長壽命含油保持架材料組分、制造及應用技術(shù)；研究新型潤滑結(jié)構(gòu)單元及微量潤滑技術(shù)。
       考核指標：潤滑介質(zhì)噪音等級優(yōu)于GN3級；含油保持架潤滑復合材料拉伸強度≥50MPa，含油率≥12%，微孔直徑9×10-4mm～12.5×10-4mm，保持架批產(chǎn)應用；微量潤滑條件下軸承dmn值試驗≥3.5×106mm·r/min；潤滑特性計算結(jié)果與試驗偏差≤20%。
       1.6液壓元件與系統(tǒng)輕量化設(shè)計制造新方法（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究非金屬材料液壓元件尺寸精度保持穩(wěn)定性、服役蠕變等性能演變的規(guī)律；探索氣體分離、污染物沉淀的新原理、新方法，研制小型化液壓單元及原理樣機；研究一體化電液執(zhí)行器設(shè)計制造關(guān)鍵技術(shù)與液壓元件輕量化制造新工藝。
       考核指標：形成輕量化液壓元件的設(shè)計理論與方法；研制輕量化液壓元件樣機2種以上，重量降低30%以上；研制小型化液壓單元和一體化電液執(zhí)行器樣機2種以上，體積減小20%以上。
       1.7機械密封服役性能演化機理與可靠性評估方法（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究機械密封服役過程表界面微觀形貌和綜合性能演化機理，基于多場耦合原理研究機械密封智能化基礎(chǔ)理論及高壓、多介質(zhì)復雜工況下機械密封數(shù)字化分析與設(shè)計方法；研究機械密封在典型工作條件下的故障與失效模式，研究機械密封的可靠性模擬測試技術(shù)、機械密封的可靠性與壽命評估方法。
       考核指標：開發(fā)復雜工況（壓力25MPa、線速度250m/s、溫度500℃）機械密封數(shù)字化設(shè)計軟件1套，模型與實驗對比誤差＜15%；建立機械密封故障與失效基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫1套。
       1.8液壓元件可靠性評估方法與壽命測試技術(shù)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究液壓元件可靠性設(shè)計與實驗評估的通用規(guī)范；研究典型液壓元件（液壓閥、液壓泵、液壓缸等）的可靠性與壽命實驗評估方法，建立典型液壓元件的故障模式、失效案例數(shù)據(jù)庫；研制典型液壓元件的耐久性與壽命測試裝置。
       考核指標：液壓元件可靠性評估的通用技術(shù)規(guī)范1項，液壓閥、液壓泵、液壓缸可靠性評估的國家標準或行業(yè)標準（報批稿）3項；建立液壓閥、液壓泵、液壓缸元件失效模式、失效案例數(shù)據(jù)庫3個，覆蓋失效模式10種以上；研制可靠性試驗裝備并完成液壓閥、液壓泵和液壓缸3種典型產(chǎn)品的可靠性評估。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       1.9橡塑密封數(shù)字化設(shè)計及制造關(guān)鍵技術(shù)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究復雜工況和極端條件下橡塑動密封性能演變機制；研究密封系統(tǒng)宏觀參數(shù)、微觀特征與服役性能之間的影響規(guī)律；研究新型旋轉(zhuǎn)密封和往復密封的設(shè)計方法；研究橡塑密封工藝數(shù)字化、智能化控制方法及實現(xiàn)技術(shù)，實現(xiàn)示范應用。
       考核指標：開發(fā)橡塑密封性能分析及數(shù)字化設(shè)計軟件，完成旋轉(zhuǎn)和往復典型密封形式的設(shè)計應用，通過臺架試驗驗證關(guān)鍵密封性能指標誤差≤10%；建立橡塑密封元件數(shù)字化、智能化工藝管控系統(tǒng)，主要工藝數(shù)字化率達到85%以上，關(guān)鍵工序能力指數(shù)Cpk≥1.33。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       1.10大型壓力成型機械軸向柱塞液壓泵（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究高壓大排量軸向柱塞泵摩擦副分布式測量技術(shù)及優(yōu)化設(shè)計方法；研究適合高交變載荷的液壓泵變量控制機構(gòu)，研制高可靠的電液比例閥；研究軸向柱塞泵的材料與熱處理、精密制造與裝配工藝；在大型高端陶瓷成型機、壓鑄成型機等大型壓力成型機械上實現(xiàn)示范應用。
       考核指標：不少于5種規(guī)格的高壓大流量軸向柱塞泵，排量為125～500ml/r，額定壓力≥35MPa，壽命≥8000h，在大型壓力成型機械上實現(xiàn)配套1000臺以上。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       1.11工程機械用高壓多路閥（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究閥內(nèi)復雜流道與油路優(yōu)化設(shè)計方法，高壓片式結(jié)構(gòu)的密封控制方法；研究整體式多路閥復雜閥體的精密鑄造工藝；研究多路閥的負載敏感、比例分流等電液控制方式；在挖掘機、起重機等工程機械上實現(xiàn)示范應用。
       考核指標：不少于5種規(guī)格的高壓多路閥，額定壓力≥32MPa，額定流量為50～200L/min等，液壓/電液/復合控制方式，壽命≥1000萬次，為工程機械配套不少于3000臺。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       1.12高性能齒輪動態(tài)服役特性及基礎(chǔ)試驗（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究齒輪傳動宏微觀幾何特征—潤滑多場耦合動態(tài)接觸特性和摩擦學—動力學耦合分析技術(shù)；研究齒輪表面完整性、制造全流程的組織與性能調(diào)控技術(shù)；研究齒輪疲勞試驗和評價新技術(shù)，開發(fā)高性能齒輪材料接觸疲勞強度和彎曲疲勞強度基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫。
       考核指標：建立齒輪動態(tài)服役性能與失效分析數(shù)字化仿真平臺；高性能齒輪在特殊環(huán)境下的服役壽命提高15%；基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫中典型齒輪材料種類＞3種。
       1.13齒輪測量新方法與基準級齒輪漸開線樣板（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究齒輪非接觸測量原理，建立拓撲齒面三維表征和齒面全信息數(shù)據(jù)點云處理方法，開發(fā)相應測量軟件；研制非接觸式齒輪快速測量裝置；研究新型基準級齒輪漸開線樣板的精密加工與測量技術(shù)，研制新型基準級齒輪漸開線樣板。
       考核指標：基于新原理的齒輪測量裝置不少于1套，具有齒廓偏差、螺旋線偏差、齒距偏差和拓撲偏差等誤差項的測量功能，測量重復性優(yōu)于0.002mm；研制兩種規(guī)格以上精度優(yōu)于1級(GBT6467－2010)的新型基準級齒輪漸開線樣板。
       1.14高速精密重載人字齒輪傳動關(guān)鍵技術(shù)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究精密重載人字齒行星傳動均載機理、修形理論與方法、振動噪聲分析與動力學優(yōu)化；研究超高效率人字齒行星傳動技術(shù)；研究齒輪熱處理變形控制、齒面高精加工及傳動裝置裝配工藝等關(guān)鍵技術(shù)；研究精密重載人字齒輪精度檢測及部件動平衡技術(shù)；在船舶、航空等領(lǐng)域示范應用。
       考核指標：人字齒輪模數(shù)4～8mm，直徑≥1000mm，齒輪加工精度優(yōu)于4級；精密重載人字齒行星齒輪箱2種以上，齒輪箱傳動效率≥98%，噪聲≤75dB(A)。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       1.15大型風電齒輪傳動系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)及工業(yè)試驗平臺（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究大型風電增速箱機電集成設(shè)計方法；研究動態(tài)設(shè)計與減振降噪、抗疲勞制造與裝配、密封及潤滑等關(guān)鍵技術(shù)；構(gòu)建大型風電齒輪箱工業(yè)性驗證平臺，研究在線遠程監(jiān)測、加速疲勞壽命試驗和綜合性能評價技術(shù)；在大型海上風電設(shè)備中示范應用。
       考核指標：風電增速箱功率5～10MW，壽命≥25年，效率≥98%，工作環(huán)境溫度－35℃～+50℃，滿足海上鹽霧工作環(huán)境；5MW及以上大型風電增速箱實現(xiàn)批量裝機。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       1.16齒輪傳動數(shù)字化設(shè)計分析與數(shù)據(jù)平臺（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究齒輪傳動及系統(tǒng)數(shù)字化設(shè)計理論與方法，開發(fā)齒輪傳動數(shù)字化設(shè)計分析軟件；研究齒輪傳動設(shè)計制造信息、測試試驗性能信息等的數(shù)字化及其與互聯(lián)網(wǎng)的集成，開發(fā)“減速器+信息數(shù)據(jù)包”的數(shù)據(jù)平臺；實現(xiàn)工程化與示范應用。
       考核指標：齒輪傳動系統(tǒng)數(shù)字化設(shè)計分析軟件1套；基于數(shù)據(jù)平臺的“減速器+信息數(shù)據(jù)包”不少于2種。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。

       2.基礎(chǔ)制造工藝
       2.1鋁合金薄壁類零件的半固態(tài)流變鑄造技術(shù)（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究高品質(zhì)鋁合金半固態(tài)流變充型過程數(shù)字模擬及成形精確控制技術(shù)，研究鑄造漿料制備控制技術(shù)，開發(fā)成形工藝及模具，研制半固態(tài)流變成形專用制漿設(shè)備機構(gòu)單元、專用壓鑄和擠壓鑄造成套技術(shù)，實現(xiàn)生產(chǎn)示范應用。
       考核指標：半固態(tài)工藝專用合金材料性能σ0.2≥180MPa，σb≥260MPa，δ≥8%；模具精度要求為連續(xù)生產(chǎn)2000件以后，鑄件毛坯合格率95%以上；定量高效制備單次半固態(tài)制漿漿料重量≥30kg，制漿時間≤20s，半固態(tài)漿料初生晶粒當量直徑≤60μm；薄壁類零件齒高≥65mm、齒頂最小壁厚≤0.8mm，薄壁類零件輪廓尺寸不小于900mm×500mm×80mm，材料的導熱系數(shù)≥170W/m·K，整體平面度整形后在1mm以內(nèi)；實現(xiàn)批量生產(chǎn)示范應用，年產(chǎn)值達到億元以上。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       2.2高強輕質(zhì)合金大型薄壁精密鑄造技術(shù)（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究輕質(zhì)合金精密鑄件控形控性機理及基礎(chǔ)工藝；研究高強輕質(zhì)合金精密鑄件凝固控制技術(shù)、數(shù)字化精密鑄造技術(shù)；研究大型復雜鈦合金高精度整體鑄造技術(shù)；研究鋁合金高真空壓鑄技術(shù)；實現(xiàn)在航空、航天、汽車等領(lǐng)域示范應用。
       考核指標：直徑≥1.5m，鋁合金鑄件300℃條件下本體性能抗拉強度≥185MPa、延伸率≥8%；大型鋁合金框架類鑄件關(guān)鍵尺寸精度CT7－8級，內(nèi)部質(zhì)量達I類要求；鈦合金熔模鑄件單向尺寸≥2.5m、硬模鑄件本體單重≥0.6T，鑄件本體力學性能達到GJB要求、內(nèi)部質(zhì)量I類B級，關(guān)鍵尺寸精度CT6級，表面粗糙度Ra≤6.3μm；鋁合金真空壓鑄型腔真空度≤10kPa，鑄件本體抗拉強度≥250MPa，延伸率≥10%；鈦合金凝殼熔鑄數(shù)字化設(shè)備最大熔鑄量≥1.5T、離心盤直徑≥3.5m；形成五種以上輕合金關(guān)鍵部件的生產(chǎn)示范應用。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       2.3軸齒類零件真空可控氣氛清潔熱處理技術(shù)（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究可控氣氛表面強化層組織性能控制技術(shù)；研究軸齒類零件真空熱處理應力/變形數(shù)值模擬、氣液復合淬火熱處理精確控制技術(shù)；研究真空低壓滲碳、碳氮共滲熱處理技術(shù)；研究真空高壓氣淬等溫淬火工藝技術(shù)；開展軸齒類零件真空清潔熱處理裝備開發(fā)及示范應用。
       考核指標：實現(xiàn)多種類爐內(nèi)氣氛減量化，廢氣排放降低30%；產(chǎn)品滲碳層深度均勻性≤±0.05mm，表面硬度均勻性≤±1.5HRC，滲層金相組織符合相關(guān)國家標準要求；開發(fā)出真空滲碳工藝軟件1套，用于軸齒類零件真空滲碳工藝與設(shè)備；真空熱處理最高加熱溫度1250℃，爐溫均勻性≤±3℃，壓升率≤0.27Pa/h。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       2.4替代電鍍鉻的綠色表面處理技術(shù)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究替代電鍍鉻碳化硅類涂層沉積機理，建立替代電鍍鉻復合微粒的關(guān)系模型；研究碳化硅類涂層材料設(shè)計及性能評價方法；研究碳化硅類復合電鍍技術(shù)；研究超高速熔覆工藝技術(shù)及裝置，研究專用金屬粉末及制備工藝；在氣缸、活塞、軋輥、液壓活塞桿等部件上進行示范應用。
       考核指標：鍍層不含鉛/汞/六價鉻等有害物質(zhì)，碳化硅類復合鍍層的表面硬度Hv≥500，形成鍍層材料及性能評價規(guī)范；低功率下超高速熔覆裝置效率≥1.3m2/h，產(chǎn)品表面粗糙度Ra≤10μm，壽命達到硬鉻鍍層的2倍以上，形成專用金屬粉末應用技術(shù)規(guī)范。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       2.5基礎(chǔ)制造工藝資源環(huán)境屬性數(shù)據(jù)庫（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究資源環(huán)境負荷數(shù)據(jù)采集與獲取方法，研制數(shù)據(jù)采集工具和系統(tǒng)；研發(fā)基礎(chǔ)制造工藝和產(chǎn)品生命周期的環(huán)境影響評價支持系統(tǒng)，實現(xiàn)典型工藝的應用驗證；構(gòu)建基礎(chǔ)制造工藝資源環(huán)境負荷的評價指標體系，研究基礎(chǔ)制造工藝的資源環(huán)境負荷評價模型，開發(fā)資源環(huán)境負荷數(shù)據(jù)庫。
       考核指標：開發(fā)數(shù)據(jù)采集工具和系統(tǒng)，實現(xiàn)至少3種資源環(huán)境特征數(shù)據(jù)的采集；開發(fā)的基礎(chǔ)制造工藝資源環(huán)境影響評價支持系統(tǒng)，在機械、能源、汽車等重點行業(yè)實現(xiàn)應用驗證，其中1家覆蓋至少4種基礎(chǔ)制造工藝的資源環(huán)境評價應用；資源環(huán)境負荷數(shù)據(jù)庫涵蓋4種以上典型基礎(chǔ)制造工藝。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       2.6清潔切削機理與前沿技術(shù)（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究高溫合金、鈦合金、淬硬鋼、復合材料等典型材料的高速干切削機理、新型機床結(jié)構(gòu)和刀具設(shè)計理論與方法；低溫干式切削機理、內(nèi)冷主軸、刀柄等功能部件設(shè)計理論與方法；微量潤滑切削機理、智能化微量潤滑裝置及相關(guān)工具系統(tǒng)設(shè)計理論與方法；可降解環(huán)保切削液冷卻潤滑機理及其設(shè)計理論與方法；清潔切削加工綜合性能評價與檢測技術(shù)等。
       考核指標：完成不少于4類材料的典型零部件清潔切削機理驗證，切削性能優(yōu)于常規(guī)切削方式；清潔切削綜合比能10～20J/mm3，切削環(huán)境空氣質(zhì)量PM2.5≤0.5mg/m3，切削液生物降解率≥80%，且不含氯、硼、甲醛等有毒有害物質(zhì)。

       3.先進傳感器
       3.1高性能硅壓力、加速度、角速度傳感器前沿技術(shù)（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究新型諧振式硅傳感器敏感原理和結(jié)構(gòu)；研究傳感器非線性效應、耦合效應、溫度效應及工藝誤差影響；研究傳感器優(yōu)化設(shè)計、制造工藝精確控制、低應力封裝等關(guān)鍵技術(shù)；開發(fā)閉環(huán)信號檢測與控制電路系統(tǒng)集成技術(shù)；研制高精度硅壓力傳感器、加速度傳感器、角速度傳感器原型器件，并在流程工業(yè)與機器人領(lǐng)域試用驗證。
       考核指標：壓力傳感器量程0～1MPa，精度優(yōu)于0.01%FS；加速度傳感器量程±15g，零偏穩(wěn)定性優(yōu)于1g；角速度傳感器量程±200/s，零偏穩(wěn)定性優(yōu)于0.1/h。
       3.2基于量子效應的微納傳感器前沿技術(shù)（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究基于量子效應的芯片式角速度傳感器、磁場傳感器設(shè)計方法；研究傳感器電子自旋-核自旋相互作用機理、溫度效應；研究諧振頻率控制、微型腔室制備、真空封裝等關(guān)鍵技術(shù)；開發(fā)激光器、探測器、處理電路系統(tǒng)集成技術(shù)；研制高精度角速度傳感器、磁場傳感器原型器件，并在重大技術(shù)裝備中試用驗證。
       考核指標：角速度傳感器表頭體積≤100cm3，量程±200/s，零偏穩(wěn)定性優(yōu)于0.1/h；磁場傳感器表頭體積≤10cm3，靈敏度優(yōu)于10fT/Hz1/2。
       3.3無線無源微納傳感器前沿技術(shù)（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究微型化聲表面波（SAW）、電感-電容（LC）無線傳感器設(shè)計；研究傳感器多參數(shù)敏感的耦合效應；研究傳感器結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計、曲面襯底上傳感器制備工藝、封裝、工業(yè)環(huán)境無線信號傳輸?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)；開發(fā)信號調(diào)制解調(diào)技術(shù)及處理電路系統(tǒng)集成技術(shù)；研制SAW和LC多參數(shù)監(jiān)測傳感器原型器件，并在燃氣輪機主軸、軸承健康狀況監(jiān)測中試用驗證。
       考核指標：SAW傳感器：溫度量程－40℃～＋1000℃，誤差±1%；應變量程±3000μ，誤差±1%；氣壓量程0～4MPa，誤差±1%。LC傳感器：溫度量程－20℃～＋120℃，誤差±1%；應變量程±1000μ，誤差±1%；振動量程±6g，誤差±1%。
       3.4微納傳感器與電路協(xié)同設(shè)計技術(shù)及設(shè)計工具（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：建立熱/機械/電學多物理場耦合模型、硅表面加工與體加工工藝模型、閉環(huán)控制傳感器宏模型；研究具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)、包含器件級、工藝級、系統(tǒng)級設(shè)計功能的微納傳感器綜合設(shè)計工具；研究微納傳感器與電路協(xié)同設(shè)計技術(shù)，并實現(xiàn)與集成電路（IC）設(shè)計工具的無縫連接；形成集成傳感器知識產(chǎn)權(quán)庫（IP），IP經(jīng)過生產(chǎn)線驗證。
       考核指標：器件級耦合分析自由度≥1×107；工藝級仿真與實驗偏差優(yōu)于5%；系統(tǒng)級仿真與實驗偏差優(yōu)于10%；閉環(huán)控制集成傳感器IP不少于3種，軟件銷售≥10套。
       3.5微納傳感器與電路單片集成工藝技術(shù)及平臺（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究在同一芯片上制造微納傳感器與IC的工藝技術(shù)；以互補-金屬-氧化物-硅（CMOS）工藝線為基礎(chǔ)，研究與CMOS工藝兼容的微納傳感器表面加工、體加工、硅直接鍵合加工等關(guān)鍵技術(shù)；建立可量產(chǎn)的微納傳感器與電路單片集成制造技術(shù)并形成標準制程規(guī)范，實現(xiàn)單片集成微納傳感器規(guī)?；a(chǎn)。
       考核指標：圓片直徑≥150mm，單片集成傳感器成品率≥80%，成套制程規(guī)范或標準≥3項；服務(wù)用戶數(shù)≥3家，開發(fā)單片集成傳感器不少于3種，生產(chǎn)能力≥5000片/年，銷售單片集成傳感器≥100萬只。
       3.6圓片級真空封裝及其測試技術(shù)與平臺（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究微機電系統(tǒng)（MEMS）圓片級真空封裝設(shè)計技術(shù)；研究圓片級多層布線、金屬和絕緣薄膜平坦化技術(shù)、低溫鍵合、吸氣劑生長及激活、真空測試等關(guān)鍵技術(shù)；研究可量產(chǎn)的圓片級真空封裝技術(shù)并形成標準制程規(guī)范，實現(xiàn)多種器件規(guī)?；瘓A片級真空封裝。
       考核指標：圓片直徑≥150mm，圓片級封裝真空度≤0.1Pa，漏率≤5.0×10-12Pa·m3/s，真空封裝成品率≥90%，真空封裝器件種類≥3種；成套標準制程規(guī)范≥3個，服務(wù)用戶數(shù)≥3個，生產(chǎn)能力≥5000片/年，銷售量≥1萬只。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       3.7高溫硅壓力傳感器關(guān)鍵技術(shù)及應用（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究高可靠性MEMS高溫硅壓力傳感器結(jié)構(gòu)優(yōu)化技術(shù)；研究低應力無引線封裝、溫度補償、高溫專用電路（ASIC）芯片等關(guān)鍵技術(shù)；開發(fā)測控接口電路；實現(xiàn)批量化生產(chǎn)并在重大技術(shù)裝備中應用。
       考核指標：溫度范圍－55℃～＋225℃，量程0～200kPa、0～60MPa，精度優(yōu)于0.25%FS，零點漂移優(yōu)于2%FS@100℃，長期穩(wěn)定性優(yōu)于0.1%FS/年，固頻率≥200kHz，過載壓力≥2倍額定壓力；形成傳感器芯片制造、封裝到應用的產(chǎn)業(yè)化鏈，生產(chǎn)能力≥5000套/年，銷售量≥1000套。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       3.8單片集成多軸傳感器關(guān)鍵技術(shù)及應用（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究單芯片集成多軸傳感器可復用的模塊化設(shè)計技術(shù)；研究傳感器單面微機械加工工藝、芯片內(nèi)薄膜真空封裝等關(guān)鍵技術(shù)；開發(fā)多軸傳感器信號處理、融合與測試技術(shù)；形成單芯片集成多軸傳感器制程規(guī)范，實現(xiàn)批量化生產(chǎn)并在大型起重輸運裝備、電梯生產(chǎn)線等行業(yè)應用。
       考核指標：晶圓直徑≥150mm，成品率≥90%；單片三軸磁場傳感器分辨率優(yōu)于50nT，單片三軸加速度傳感器分辨率優(yōu)于100g，單片三軸角速度傳感器偏置穩(wěn)定性優(yōu)于1/h，單片三分量應力傳感器分辨率優(yōu)于10kPa；生產(chǎn)能力≥5000片/年，銷售量≥100萬只。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       3.9無線紅外高溫微納傳感器關(guān)鍵技術(shù)及應用（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究硅基紅外傳感器設(shè)計優(yōu)化、制造工藝、封裝、可靠性、測試等關(guān)鍵技術(shù)；研究工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境下，高精度、非接觸、紅外高溫溫度測量技術(shù)；開發(fā)無線能量收集及信號傳輸技術(shù)；實現(xiàn)無線紅外高溫微納傳感器批量化生產(chǎn)，并在高溫熔煉爐監(jiān)測中應用。
       考核指標：傳感器量程600℃～1600℃，誤差±0.5%，響應時間≤20ms，生產(chǎn)能力≥5000套/年，銷售量≥1000套。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       3.10運動部件壁面溫度微納傳感器關(guān)鍵技術(shù)及應用（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究微納溫度傳感器優(yōu)化設(shè)計方案；研究運動部件曲面基底上高溫絕緣層、緩沖層、溫度敏感層的原位制造和微加工技術(shù)；研究微納溫度傳感器在高溫、高速、強振等惡劣環(huán)境下的可靠性；研究傳感器標定、信號無線引出及多傳感器系統(tǒng)集成技術(shù)；實現(xiàn)微納溫度傳感器批量化生產(chǎn)，并在重大技術(shù)裝備中示范應用。
       考核指標：傳感器量程100℃～1300℃，誤差±1.0%；響應時間≤10ms，無線傳遞距離≥2mm；抗振動1000Hz/20g，抗沖擊100g/8ms半正弦波，生產(chǎn)能力≥5000套/年，銷售量≥1000套。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。

       4.高端儀器儀表
       4.1基于語義交互集成的儀器儀表新型體系架構(gòu)（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究標準化語義描述、元數(shù)據(jù)提取、分類編碼規(guī)則等儀器儀表信息交互基礎(chǔ)方法；研究基于語義交互的儀器儀表信息集成與智能互聯(lián)技術(shù)；開發(fā)適應語義交互集成、可重構(gòu)的儀器儀表新型技術(shù)架構(gòu)；在面向智能工廠應用的典型儀器儀表上開展原理驗證。
       考核指標：語義描述基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫覆蓋儀器儀表數(shù)≥50種、數(shù)據(jù)量≥30萬條；新型技術(shù)架構(gòu)具備語義交互集成、自主智能、模塊可重構(gòu)等功能，自主重構(gòu)裝載任務(wù)配置能力達到10ms量級，在2類以上的智能化儀器儀表進行原理驗證。
       4.2微弱電信號精密檢測及高速數(shù)據(jù)處理技術(shù)（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究微弱電信號精密檢測算法以及調(diào)理技術(shù)；研究超高速和高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換器設(shè)計技術(shù)，超高速并行采樣、并行觸發(fā)定位與存儲同步等關(guān)鍵技術(shù)；研制微弱電信號精密檢測及高
速數(shù)據(jù)處理的原理樣機，面向先進半導體制造行業(yè)典型需求開展試驗驗證。
       考核指標：微弱電信號的電流測量分辨率≤1pA、電壓測量分辨率≤100nV，高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換率≥5MSPS，單芯片分辨率≥18位；高速數(shù)據(jù)采樣系統(tǒng)采樣率≥20GSa/s、分辨率≥12位、信號處理帶寬≥2.5GHz。
       4.3基于量子效應的儀表原位標校技術(shù)（基礎(chǔ)前沿技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究基于量子效應實現(xiàn)儀表原位標校的基礎(chǔ)方法；研究量子磁通調(diào)控和數(shù)模轉(zhuǎn)換技術(shù)、量子準確度任意電壓信號合成技術(shù)；建立以量子數(shù)模轉(zhuǎn)換為核心的標準級電壓校準器物理系統(tǒng)并在儀器儀表制造行業(yè)開展原理驗證。
       考核指標：實現(xiàn)直流至10kHz量子電壓信號輸出，幅度有效值達到1V，有效值準確度優(yōu)于2μV@（1V，直流～1kHz）、3μV@（1V，1kHz～10kHz），最大諧波失真優(yōu)于-100dBc@（1V，1kHz），基于量子數(shù)模轉(zhuǎn)換物理系統(tǒng)實現(xiàn)電壓源/表的原位標校方法不確定度優(yōu)于5μV/V@（1V，1kHz）。
       4.4具備邊緣計算能力的新型儀器儀表（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究儀器儀表嵌入式硬件計算資源分配、計算效能等的基礎(chǔ)理論與技術(shù)；研究儀器儀表邊緣計算的數(shù)據(jù)實時分析與處理等技術(shù)；研制面向智能工廠應用的基于邊緣計算技術(shù)的新型儀器儀表，并在典型流程行業(yè)示范應用。
       考核指標：研發(fā)具備自診斷、自學習、自決策和網(wǎng)絡(luò)服務(wù)能力的壓力、流量、氣體分析等3類智能化儀器儀表，儀器儀表邊緣計算響應時間≤100ms，自學習壓力、流量、氣體分析趨勢變化率等，自診斷效率≥95%。
       4.5面向惡劣環(huán)境的儀器儀表可靠性設(shè)計及驗證技術(shù)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究冶金、化工、船舶等高溫和高鹽霧腐蝕等惡劣環(huán)境條件下典型儀器儀表失效機理與模型、可靠性設(shè)計與仿真方法；研究可靠性高加速壽命和加速篩選等試驗方法；建立惡劣環(huán)境下儀器儀表可靠性保障體系與驗證平臺；研制高可靠儀表，開展可靠性設(shè)計驗證。
       考核指標：惡劣環(huán)境下儀器儀表可靠性設(shè)計與試驗分析軟件1套；建立可靠性保障規(guī)范與驗證平臺；研制溫度、壓力、流量等惡劣環(huán)境條件下使用的驗證性儀表，儀表平均故障間隔時間≥8000h。
       4.6高性能真空監(jiān)測儀表（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究高真空測量用閥體組件、標準連接裝置等關(guān)鍵部件，以及高真空密封裝配技術(shù)；研制高密封、高真空、寬量程、低功耗的真空監(jiān)測儀表；在易燃易爆流體儲運、真空鍍膜、真空冶煉等制造領(lǐng)域示范應用。
       考核指標：組件整體漏率≤10-11Pa•m3•s-1，壓力測量范圍105Pa～10-5Pa，測量誤差優(yōu)于±15%@（10-2Pa～10-5Pa）；儀表總功耗≤5W。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       4.7汽車關(guān)鍵部件裝配缺陷視覺檢測儀（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究適用于工業(yè)現(xiàn)場的汽車關(guān)鍵部件裝配缺陷檢測原理及方法，建立裝配缺陷視覺檢測模型；研究三維光學傳感系統(tǒng)設(shè)計與集成、工業(yè)現(xiàn)場裝配環(huán)境下的復雜形貌三維重構(gòu)、裝配缺陷特征表示及識別等關(guān)鍵技術(shù)；研制具有自主知識產(chǎn)權(quán)的汽車關(guān)鍵部件裝配缺陷視覺檢測儀；在汽車發(fā)動機等關(guān)鍵部件裝配生產(chǎn)線開展示范應用。
       考核指標：單視點檢測時間≤3s，裝配缺陷檢測靈敏度≤±20μm，形貌重構(gòu)精度≤0.1mm，裝配缺陷識別種類≥20種，裝配缺陷識別準確率≥99%；形成汽車裝配缺陷視覺檢測標準；儀器銷售量不少于10套；在不少于2個汽車關(guān)鍵部件裝配環(huán)節(jié)示范應用。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       4.8特種工況實時在線測量儀表（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究特種工況實時在線測量儀表的材料改性、敏感元器件優(yōu)化、防護提升等工程化關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)適用相應工況的壓力變送器、流量計和液位計等測量儀表；在光熱發(fā)電、核電、化工等領(lǐng)域示范應用。
       考核指標：壓力測量范圍0～7MPa，精度優(yōu)于±0.075%FS；流量測量范圍0～5m3/h，精度優(yōu)于±1%FS；液位測量范圍0～10m，精度優(yōu)于±0.03%FS；上述3類儀表可測量介質(zhì)溫度≥550℃，原位測量特殊介質(zhì)包括熔融金屬、高溫鹽質(zhì)、加氫原料、氧化流體等；至少在2個領(lǐng)域開展示范應用且滿足該領(lǐng)域的其他特殊使用要求。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。
       4.9高性能特種控制閥（應用示范類）
       研究內(nèi)容：研究適用于高溫、高壓差和高流速等特殊工況的特種控制閥整體構(gòu)造、減壓結(jié)構(gòu)、材料處理、密封形式等關(guān)鍵技術(shù)；開發(fā)特種控制閥門，并在石化高壓反應、核電等領(lǐng)域開展示范應用。
       考核指標：控制閥使用溫度≥350℃，控制壓差≥17.0MPa，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于±1.5%，可調(diào)比≥100:1，閥座泄漏率達到Ⅴ級，系列化閥門口徑最大可達DN450。
       有關(guān)說明：由企業(yè)牽頭申報。

       5.基礎(chǔ)保障技術(shù)
       5.1測控設(shè)備高等級安全完整性關(guān)鍵技術(shù)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究變送器/控制器/執(zhí)行器等測控設(shè)備的高等級安全完整性設(shè)計、測試、應用和評估認證關(guān)鍵技術(shù)；研制高等級安全完整性相關(guān)裝備和安全測評軟件；在石化、化工、機械制造等典型行業(yè)高危環(huán)境下應用驗證。
       考核指標：可編程控制器/專用控制系統(tǒng)安全完整性等級達到3級，診斷覆蓋率≥95%，硬件故障裕度≥1，控制系統(tǒng)站間安全通信殘余失效率＜10-10/h；智能變送器、執(zhí)行器滿足安全完整性等級3級應用，診斷覆蓋率≥90%；功能安全報警監(jiān)控與管理軟件安全完整性能力達到3級；開發(fā)高等級安全完整性驗證測試工具2套，開發(fā)功能安全分析評估相關(guān)軟件3種，制定典型高危應用環(huán)境下驗證測評標準1項。
       5.2測控裝備信息安全關(guān)鍵技術(shù)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
       研究內(nèi)容：研究測控系統(tǒng)遭受內(nèi)外信息安全威脅的攻擊機理和攻擊路徑，研究典型工業(yè)測控裝備的訪問控制、權(quán)限控制、信息加密、完整性保證、受限數(shù)據(jù)流、資源可用性、事件及時響應等7類信息安全設(shè)計與評測技術(shù)，研制滿足全生命周期信息安全設(shè)計規(guī)范的變送器/控制器/執(zhí)行器等測控裝備，開發(fā)相關(guān)評測軟件和系統(tǒng)；在光熱/光伏發(fā)電、機械制造、軌道交通等典型行業(yè)開展應用驗證。
       考核指標：控制器具備可編程組態(tài)和軟硬件冗余等功能，應具備可配置7類信息安全功能，且至少4類達到GB/T30976.1規(guī)定的信息安全二級或以上技術(shù)要求，應通過ISASecure認證工具的通信健壯性測試，安全控制策略對控制周期無影響，人機界面與控制器通信延遲低于10%；變送器/執(zhí)行器應具備無線通信、自診斷和遠程管控等功能，7類信息安全功能可配置數(shù)≥4，且至少2類達到GB/T30976.1規(guī)定的信息安全二級或以上技術(shù)要求；測控裝備信息安全評測軟件1套；應用驗證規(guī)模≥10000點。